1. MFC / MFM 2. 플로우미터 3. MFC 콘트롤러 [리드아웃] 4. 가스혼합기 5. 니들밸브 6. 압력조정밸브 7. 압력제어장치 8. 스로틀밸브 9. BPR [Equilibar] 10. 레귤레이터 [CROWN]
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